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(C,N)添加Fe基合金薄膜における非平衡α',α'',γ相の合成と磁性に関する研究

目次・巻号

  • (C,N)添加Fe基合金薄膜における非平衡α',α'',γ相の合成と磁性に関する研究 [314]
    • 目次/p1
    • 第1章序論/p1
    • 第1節 α"-Fe₁₆N₂の巨大磁気モーメントに関する研究の歴史/p1
    • 第2節 Fe-N系化合物の結晶構造と状態図/p32
    • 第3節 bcc-Feへの置換型及び侵入型元素の添加による磁気モーメントの変化/p36
    • 第4節 bcc及びfcc-Feの磁気体積効果/p41
    • 第5節 書き込み用磁気ヘッド材料の現状/p45
    • 第6節 本研究の目的/p48
    • 参考文献/p51
    • 第2章 実験方法/p55
    • 第1節 試料の作製方法/p55
    • 1-1.成膜装置/p55
    • 1-2.プロセスガス/p57
    • 1-3.ターゲット/p57
    • 1-4.基板とその洗浄方法/p58
    • 1-5.基板表面のドライエッチング/p59
    • 1-6.成膜手順/p60
    • 1-7.熱処理方法/p62
    • 第2節 薄膜の膜厚及び質量の決定方法/p67
    • 2-1.膜厚/p67
    • 2-2.膜質量/p67
    • 第3節 構造解析/p68
    • 3-1.X線回折法/p68
    • 3-2.透過電子顕微鏡法/p73
    • 3-3.薄膜の表面観察/p73
    • 第4節 磁気測定/p77
    • 4-1.飽和磁化/p77
    • 4-2.磁気異方性/p77
    • 第5節 組成分析/p81
    • 参考文献/p82
    • 第3章 Fe₁₆N₂スパッタ薄膜のα'及びα”相の形成と磁性/p83
    • 第1節 緒言/p83
    • 第2節 コリメータを用いたα'及びα"-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の合成/p87
    • 2-1.コリメータを用いて作製されたα'-Fe-Nスパッタ薄膜の構造/p87
    • 2-2.コリメータを用いて作製された(α'+α")-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の構造/p89
    • 第3節 清浄雰囲気中におけるα'及びα"-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の合成/p99
    • 3-1.Fe下地上に作製されたα'-Fe-Nスパッタ薄膜の構造/p99
    • 3-2.Fe下地上に作製された(α'+α")-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の構造/p101
    • 3-3.Fe下地上に作製された(α'+α")-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の化学組織/p102
    • 3-4.Fe下地上に作製された種々の膜厚を有するα'及びα"-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の構造/p103
    • 3-5.Ag下地上に作製されたα'-Fe-Nスパッタ薄膜の構造/p105
    • 3-6.α'及びα"-Fe₁₆N₂/Ag多層膜の合成/p105
    • 第4節 コリメータを用いて作製されたα'及びα"-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の飽和磁化/p128
    • 4-1.コリメータを用いて作製されたα'-Fe-Nスパッタ薄膜の飽和磁化/p128
    • 4-2.コリメータを用いて作製された(α'+α")-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の飽和磁化/p128
    • 第5節 清浄雰囲気中で作製されたα'及びα"-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の磁性/p134
    • 5-1.Fe下地上に作製されたα'-Fe-Nスパッタ薄膜の飽和磁化/p134
    • 5-2.Fe下地上に作製された種々の膜厚を有するα'及びα"-Fe₁₆N₂スパッタ薄膜の飽和磁化/p135
    • 5-3.Fe下地上に作製されたFe-Nスパッタ薄膜の磁気異方性/p137
    • 5-4.Ag下地上に作製されたα'及びα"-Fe₁₆N₂/Ag多層膜の飽和磁化/p139
    • 第6節 結言/p159
    • 参考文献/p162
    • 第4章 Ni置換された(Fe₁₋xNix)-N(x=0-0.3)スパッタ薄膜のα'相の合成と磁性/p165
    • 第1節 緒言/p165
    • 第2節 (Fe₁₋x-Nix)-N(x=O-0.3)スパッタ薄膜のα'相目の合成/p169
    • 2-1.α'-(Fe₁₋xNix)-N(x=0-0.3)スパッタ薄膜の構造/p169
    • 2-2.α'-(Fe₁₋xNix)-N(x=0-0.3)スパッタ薄膜の熱安定性/p171
    • 2-3.α"-(Fe₁₋xNix)₁₆N₂(x=0-0.3)スパッタ薄膜の合成/p171
    • 第3節 α'-(Fe₁₋xNix)-N(x=0-0.3)スパッタ薄膜の磁性/p180
    • 3-1.α'-(Fe₁₋xNix)-N(x=0-0.3)スパッタ薄膜の飽和磁化/p180
    • 3-2.α'-(Fe₁₋xNix)-N(x=0-0.3)スパッタ薄膜の磁気異方性/p181
    • 第4節 結言/p190
    • 参考文献/p192
    • 第5章 C置換型Fe-(C-N)スパッタ薄膜のα'相の合成と磁性/p193
    • 第1節 緒言/p193
    • 第2節 Fe-(C-N)スパッタ薄膜のα'相の合成/p195
    • 2-1.α'-Fe-Cスパッタ薄膜の構造/p195
    • 2-2.α'-Fe-(C-N)スパッタ薄膜の構造/p196
    • 2-3.α'-Fe-Cスパッタ薄膜の熱安定性/p197
    • 第3節 α'-Fe-(C-N)スパッタ薄膜の磁性/p206
    • 3-1.α'-Fe-Cスパッタ薄膜の飽和磁化/p206
    • 3-2.Fe-(C-N)スパッタ薄膜の飽和磁化/p207
    • 3-3.α'-Fe-C-スパッタ薄膜の磁気異方性/p208
    • 3-4.α'-Fe-(C-N)スパッタ薄膜の磁気異方性/p210
    • 3-5.α'-Fe-Cスパッタ薄膜の軟磁気特性/p211
    • 3-6.α'-Fe-(C-N)スパッタ薄膜の軟磁気特性/p211
    • 第4節 結言/p232
    • 参考文献/p235
    • 第6章 (Fe₁₋xNix)-N (x=0.2-0.4)スパッタ薄膜のγ相の合成と磁性/p237
    • 第1節 緒言/p237
    • 第2節 (Fe₁₋xNix-N(x=0.2-0.4)スパッタ薄膜のγ相の合成/p241
    • 第3節 Fe-Nスパッタ薄膜のγ相の合成/p246
    • 3-1.Feスパッタ薄膜のγ相の合成/p246
    • 3-3.γ-Fe-Nスパッタ薄膜の合成/p246
    • 3-4.γ-Fe-Nスパッタ薄膜の構造/p247
    • 第4節 γ-(Fe₁₋xNix)-N(x=0.2-0.4)スパッタ薄膜の磁性/p258
    • 4-1.γ-(Fe₁₋xNix)-N(x=0.2-0.4)スパッタ薄膜の飽和磁化/p258
    • 4-3.γ-(Fe₁₋xNix)-N(x=0.2-0.4)スパッタ薄膜の磁気異方性/p259
    • 第5節 γ-Fe-Nスパッタ薄膜の磁性/p264
    • 5-1.γ-Fe-Nスパッタ薄膜の磁気モーメント/p264
    • 5-2.γ-Fe-Nスパッタ薄膜のCurie点/p265
    • 第6節 結言/p272
    • 参考文献/p274
    • 第7章 α',α",γ-Fe-Nの磁気モーメント/p275
    • 第1節 緒言/p275
    • 第2節 bct及びfct-Fe-Nの磁気モーメントに対する体積効果/p276
    • 第3節 巨大磁気モーメントの起源に関する一考察/p279
    • 第4節 結言/p282
    • 参考文献/p283
    • 第8章 結論/p285
    • 本論文に関わる研究発表/p299
    • 謝辞/p302

書誌情報

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http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3188908/1

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