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格子不整合ヘテロエピタキシーにおける界面形成の制御及び結晶欠陥の低減に関する研究

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目次・巻号

  • 格子不整合ヘテロエピタキシーにおける界面形成の制御及び結晶欠陥の低減に関する研究 [91]
    • 論文要旨
    • 目次
    • 第1章 序論/p1
    • §1-1 ヘテロエピタキシャル成長技術とデバイスヘの応用/p1
    • §1-2 格子不整合ヘテロエピタキシーにおける問題点/p5
    • 1-2-1 格子定数差/p5
    • 1-2-2 熱膨張係数差/p8
    • 1-2-3 極性/非極性半導体の成長/p9
    • §1-3 本研究の目的/p10
    • 参考文献/p13
    • 第2章 分子線エピタキシー及び評価技術/p15
    • §2-1 分子線エピタキシー/p15
    • §2-2 反射高速電子線回折/p19
    • §2-3 二次イオン質量分析/p23
    • §2-4 透過型電子顕微鏡/p25
    • 参考文献/p28
    • 第3章 ヘテロ界面における偏析及び相互拡散/p29
    • §3-1 緒言/p29
    • §3-2 GaAs/Geヘテロ構造におけるGeの表面偏析/p30
    • 3-2-1 Ge基板上のGaAs初期成長過程及びGeの表面偏析/p30
    • 3-2-2 Ge基板上のGaAs/AlAs初期成長過程及びGeの表面偏析抑制効果/p37
    • §3-3 GaAs/InAs/GaAsヘテロ構造におけるInの偏析及び相互拡散/p43
    • 3-3-1 GaAs/InAs/GaAsヘテロ構造におけるln原子の表面偏析/p43
    • 3-3-2 熱アニールによるIn原子の相互拡散及びその抑制/p49
    • 3-3-3 GaAs層内におけるln原子の相互拡散機構/p51
    • §3-4 まとめ/p58
    • 参考文献/p59
    • 第4章 歪短周期超格子の成長機構/p61
    • §4-1 緒言/p61
    • §4-2[化学式][化学式]歪短周期超格子の成長/p62
    • 4-2-1 GaAs基板上の(InAs)。(GaAs)歪短周期超格子の成長過程/p62
    • 4-2-2 bInAs基批上の(InAs)。(GaAs)歪短周期超格子の成長過程/p71
    • §4-3 [化学式][化学式]歪短周期超格子の成長/p76
    • 4-3-1 GaP基板上の(GaP)。(GaAs)万歪短周期超格子の成長過程/p76
    • 4-3-2 GaAs基板上の(GaP)。(GaAs)叫歪短周期超格子の成長過程/p81
    • §4-4 歪短周期超格子の成長機構/p85
    • §4-5 まとめ/p89
    • 参考文献/p90
    • 第5章 歪短周期超格子の歪緩和過程/p91
    • §5-1 緒言/p91
    • §5-2 単層構造における歪短周期超格子の歪緩和過程/p91
    • 5-2-1 ミスフィット転位による格子不整合歪の緩和/p91
    • 5-2-2 単層構造における歪緩和過程と結晶性の変化/p96
    • §5-3 多層構造における歪短周期超格子の歪緩和過程/p105
    • §5-4 まとめ/p110
    • 参考文献/p111
    • 第6章 歪短周期超格子による貫通転位密度の低減効果/p112
    • §6-1 緒言/p112
    • §6-2 [化学式][化学式]歪短周期超格子による貫通転位密度低減効果/p113
    • 6-2-1 InGaAs/GaAs系ヘテロエピタキシーにおける貫通転位の発生機構/p113
    • 6-2-2 (InAs)。GaAs)。歪短周期超格子を用いたGaAs基板上のInGaAs成長/p119
    • §6-3 [化学式][化学式]歪短周期超格子による貫通転位密度低減効果/p126
    • 6-3-1 GaP基板上のGaAs成長における貫通転位/p126
    • 6-3-2 (GaP)。(GaAs)歪短周期超格子を用いたGaP基板上のGaAs成長/p132
    • 6-3-3(GaP)。(GaAs)歪短周期超格子を用いたSi基板上のGaAs成長/p140
    • §6-4 まとめ/p144
    • 参考文献/p146
    • 第7章 総括/p147
    • 付録A SIMS分析における深さ方向の分解能/p151
    • 付録B GaAs/InAs/GaAsヘテロ構造におけるIn原子の表面脱離/p154
    • 付録C GaAs(001)基板上のInAs成長における貫通転位/p159
    • 謝辞/p161
    • 本研究に関する発表論文/p163

書誌情報

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https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3074013/1

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