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永続的識別子

info:ndljp/pid/3089246

タイトル

レーザを用いたインプロセス形状測定技術の研究

著者

浅野有一郎 [著]

出版年月日

1992

請求記号

UT51-92-L404

書誌ID（国立国会図書館オンラインへのリンク）

000000251678

DOI

10.11501/3089246

公開範囲

国立国会図書館／図書館送信参加館内公開

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資料種別 (materialType)

Book

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Manuscript

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DoctoralDissertation

タイトル (title)

レーザを用いたインプロセス形状測定技術の研究

タイトルよみ (titleTranscription)

レーザ オ モチイタ インプロセス ケイジョウ ソクテイ ギジュツ ノ ケンキュウ

著者 (creator)

浅野有一郎 [著]

著者標目 (creator)

浅野, 有一郎

著者よみ (creatorTranscription)

アサノ, ユウイチロウ

出版年月日(W3CDTF形式) (issued:W3CDTF)

1992

フォーマット(IMT形式) (format:IMT)

image/jp2

内容記述 (description)

博士論文

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博士論文

授与大学名 (degreeGrantor)

豊橋技術科学大学

授与大学名よみ (degreeGrantorTranscription)

トヨハシ ギジュツ カガク ダイガク

博論報告番号 (dissertationNumber)

乙第28号

授与年 (dateGranted)

平成4年3月11日

学位 (degreeName)

工学博士

永続的識別子 (identifier:NDLJP)

info:ndljp/pid/3089246

URL (identifier:URI)

https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3089246

DOI (identifier:DOI)

10.11501/3089246

NDL請求記号 (callNumber)

UT51-92-L404

原資料のNDL書誌ID (sourceIdentifier:NDLBibID)

000000251678

NDLC (subject:NDLC)

UT51

---

UT31

コレクション情報 (type:collection)

博士論文

デジタル化出版者 (digitizedPublisher)

国立国会図書館

提供者 (provider)

大規模デジタル化（博士論文）

提供制限 (accessRights)

国立国会図書館/図書館送信限定公開

公開範囲 (rights)

国立国会図書館／図書館送信参加館内公開

階層レベル (type:biblevel)

0

サムネイルURL (thumbnailUrl:thumbnailUrl)

https://dl.ndl.go.jp/titleThumb/info:ndljp/pid/3089246

サムネイルファイル名 (thumbnailFileName:thumbnailFileName)

000000251678thumb.jpg

出版地（国名コード） (publicationPlace:ISO3166)

JP

授与大学 (degreeGrantor:JISX0408)

0085

目次 (tableOfContents)

論文要旨 / (0003.jp2)

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目次 / p1 (0008.jp2)

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第1章 緒言 / p1 (0011.jp2)

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第2章 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の問題点と解決の方策 / p3 (0013.jp2)

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2.1 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の現状 / p3 (0013.jp2)

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2.2 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の問題点 / p8 (0018.jp2)

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2.3 問題点解決のための基本方策 / p10 (0020.jp2)

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〔第2章の参考文献〕 / p13 (0023.jp2)

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第3章 幾何光学的方法によるマクロ形状の測定-高炉内原料面形状のインプロセス測定- / p16 (0026.jp2)

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3.1 研究の目的と従来技術 / p16 (0026.jp2)

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3.2 従来技術の問題点 / p20 (0030.jp2)

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3.3 レーザ方式の特長と測定原理 / p21 (0031.jp2)

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3.4 問題点解決のための各種新技術 / p27 (0037.jp2)

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3.5 小型高炉用システムへの適用 / p30 (0040.jp2)

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3.6 大型高炉用システムへの適用 / p34 (0044.jp2)

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3.7 装置性能の評価 / p42 (0052.jp2)

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3.8 測定結果の操業への活用 / p43 (0053.jp2)

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3.9 第3章のまとめ / p48 (0058.jp2)

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〔第3章の参考文献〕 / p49 (0059.jp2)

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第4章 波動光学的方法によるミクロ形状の測定-鋼板表面粗度および光沢のオンライン測定- / p50 (0060.jp2)

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4.1 研究の目的と従来技術 / p50 (0060.jp2)

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4.2 従来技術の問題点 / p53 (0063.jp2)

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4.3 粗面による光散乱の理論的考察と新知見 / p56 (0066.jp2)

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4.4 光反射強度および粗度測定実験 / p68 (0078.jp2)

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4.5 オンライン粗度測定システムの開発と操業への活用 / p78 (0088.jp2)

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4.6 粗度測定に関するまとめ / p82 (0092.jp2)

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4.7 光沢測定の必要性と従来技術の問題点 / p83 (0093.jp2)

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4.8 光沢と粗度の相関関係の実験的考察と新知見 / p84 (0094.jp2)

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4.9 オンライン光沢測定システムの開発と操業への活用 / p88 (0098.jp2)

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4.10 光沢測定に関するまとめ / p91 (0101.jp2)

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4.11 第4章のまとめ / p92 (0102.jp2)

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〔第4章の参考文献〕 / p93 (0103.jp2)

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第5章 分光学的方法による低濃度ガスの密度分布形状測定-プラズマCVDプロセスにおけるSiHラジカルの測定- / p94 (0104.jp2)

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5.1 研究の背景と目的 / p94 (0104.jp2)

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5.2 従来技術とその問題点 / p98 (0108.jp2)

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5.3 プラズマ中ラジカル検出へのレーザ誘起蛍光法の適用 / p100 (0110.jp2)

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5.4 レーザ誘起蛍光法によるSiH密度分布形状の測定 / p106 (0116.jp2)

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5.5 発光分光法データのAbel逆変換 / p109 (0119.jp2)

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5.6 発光分光法データのAbel逆変換よる[化学式]密度分布形状の産出 / p114 (0124.jp2)

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5.7 SiHおよび[化学式]密度分布の基板温度依存性測定への応用 / p118 (0128.jp2)

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5.8 第5章のまとめ / p130 (0140.jp2)

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〔第5章の参考文献〕 / p132 (0142.jp2)

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第6章 結論 / p135 (0145.jp2)

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〔謝辞〕 / p140 (0150.jp2)

URL

https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3089246