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レーザを用いたインプロセス形状測定技術の研究

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目次・巻号

  • レーザを用いたインプロセス形状測定技術の研究 [152]
    • 論文要旨
    • 目次/p1
    • 第1章 緒言/p1
    • 第2章 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の問題点と解決の方策/p3
    • 2.1 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の現状/p3
    • 2.2 インプロセス形状測定におけるレーザ適用の問題点/p8
    • 2.3 問題点解決のための基本方策/p10
    • 〔第2章の参考文献〕/p13
    • 第3章 幾何光学的方法によるマクロ形状の測定-高炉内原料面形状のインプロセス測定-/p16
    • 3.1 研究の目的と従来技術/p16
    • 3.2 従来技術の問題点/p20
    • 3.3 レーザ方式の特長と測定原理/p21
    • 3.4 問題点解決のための各種新技術/p27
    • 3.5 小型高炉用システムへの適用/p30
    • 3.6 大型高炉用システムへの適用/p34
    • 3.7 装置性能の評価/p42
    • 3.8 測定結果の操業への活用/p43
    • 3.9 第3章のまとめ/p48
    • 〔第3章の参考文献〕/p49
    • 第4章 波動光学的方法によるミクロ形状の測定-鋼板表面粗度および光沢のオンライン測定-/p50
    • 4.1 研究の目的と従来技術/p50
    • 4.2 従来技術の問題点/p53
    • 4.3 粗面による光散乱の理論的考察と新知見/p56
    • 4.4 光反射強度および粗度測定実験/p68
    • 4.5 オンライン粗度測定システムの開発と操業への活用/p78
    • 4.6 粗度測定に関するまとめ/p82
    • 4.7 光沢測定の必要性と従来技術の問題点/p83
    • 4.8 光沢と粗度の相関関係の実験的考察と新知見/p84
    • 4.9 オンライン光沢測定システムの開発と操業への活用/p88
    • 4.10 光沢測定に関するまとめ/p91
    • 4.11 第4章のまとめ/p92
    • 〔第4章の参考文献〕/p93
    • 第5章 分光学的方法による低濃度ガスの密度分布形状測定-プラズマCVDプロセスにおけるSiHラジカルの測定-/p94
    • 5.1 研究の背景と目的/p94
    • 5.2 従来技術とその問題点/p98
    • 5.3 プラズマ中ラジカル検出へのレーザ誘起蛍光法の適用/p100
    • 5.4 レーザ誘起蛍光法によるSiH密度分布形状の測定/p106
    • 5.5 発光分光法データのAbel逆変換/p109
    • 5.6 発光分光法データのAbel逆変換よる[化学式]密度分布形状の産出/p114
    • 5.7 SiHおよび[化学式]密度分布の基板温度依存性測定への応用/p118
    • 5.8 第5章のまとめ/p130
    • 〔第5章の参考文献〕/p132
    • 第6章 結論/p135
    • 〔謝辞〕/p140

書誌情報

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https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3089246/1

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