国立国会図書館デジタルコレクション

トップへ このデータベースについて ヘルプ

原子状水素を用いたⅢ-Ⅴ族化合物半導体における結晶欠陥の低減及び不活性化に関する研究

情報
URL表示
操作方法

目次・巻号

  • 原子状水素を用いたⅢ-Ⅴ族化合物半導体における結晶欠陥の低減及び不活性化に関する研究 [75]
    • 論文要旨
    • 目次
    • 第1章 序論/p1
    • §1.1 ヘテロエピタキシャル成長技術とデバイスへの応用/p1
    • §1.2 格子不整合ヘテロエピタキシーにおける問題点/p2
    • 1.2.1 格子不整合/p3
    • 1.2.2 熱膨張係数差/p8
    • 1.2.3 極性・非極性半導体の成長/p9
    • §1.3 格子不整合ヘテロエピタキシーにおける結晶欠陥の低減技術/p10
    • §1.4 原子状水素を用いたエピタキシャル成長/p11
    • §1.5 本研究の目的/p13
    • 参考文献/p15
    • 第2章 分子線エピタキシー装置及び評価技術/p19
    • §2.1 緒言/p19
    • §2.2 分子線エピタキシー/p19
    • §2.3 反射高速電子線回折/p22
    • §2.4 二次イオン質量分析装置/p25
    • §2.5 透過型電子顕微鏡/p26
    • §2.6 X線光電子分光法/p30
    • §2.7 電子線誘起電流法/p32
    • §2.8 深い準位の過渡分光法/p33
    • §2.9 X線回折法/p36
    • §2.10 フォトルミネッセンス/p37
    • 参考文献/p39
    • 第3章 原子状水素照射による三次元成長の抑制と貫通転位密度の低減効果/p41
    • §3.1 緒言/p41
    • §3.2 実験方法/p42
    • §3.3 原子状水素照射よるGaAs基板の低温クリーニング/p46
    • §3.4 原子状水素照射下における(InAs)₁(GaAs)₁SSPSの初期成長過程の観察/p47
    • §3.5 原子状水素照射下で成長した(InAs)₁(GaAs)₁SSPS層に発生する転位の観察/p51
    • §3.6 In₀.₅Ga₀.₅As混晶の初期成長過程と転位の観察/p60
    • §3.7 原子状水素照射下におけるGaAs層のMEE成長/p62
    • §3.8 原子状水素照射下におけるInのエッチング及び偏析の評価/p64
    • §3.9 結言/p67
    • 参考文献/p68
    • 第4章 原子状水素照射を用いた結晶欠陥の不活性化/p71
    • §4.1 緒言/p71
    • §4.2 実験方法/p72
    • §4.3 ヘテロ界面に発生するミスフィット転位の観察/p75
    • §4.4 原子状水素照射によるミスフィット転位の不活性化/p78
    • §4.5 アニールによるミスフィット転位の再活性化/p86
    • §4.6 結言/p91
    • 参考文献/p92
    • 第5章 原子状水素照射による過剰V族原子の除去と結晶品質の向上/p93
    • §5.1 緒言/p93
    • §5.2 原子状水素照射による過剰As及び過剰P原子の除去効果/p94
    • 5.2.1 実験方法/p95
    • 5.2.2 RHEED及びXPSによる過剰As及び過剰P原子除去効果の評価/p96
    • §5.3 原子状水素照射による点欠陥密度の低減効果/p105
    • 5.3.1 実験方法/p105
    • 5.3.2 PL及びDLTSによる低温成長GaAs層の評価/p106
    • §5.4 原子状水素照射による急峻なGaAs/GaPヘテロ界面の形成/p111
    • 5.4.1 実験方法/p111
    • 5.4.2 (GaAs),(GaP)3SSPSの成長過程/p113
    • 5.4.3 原子状水素照射による急峻なGaAs/GaPヘテロ界面の形成/p114
    • 5.4.4 TEMによる(GaAs)(GaP)3SSPS層内の転位の観察/p116
    • 5.4.5 TEMによるGaAs/multi-(GaAs)(GaP)SSPSs/GaP構造内の転位の観察/p118
    • §5.5 結言/p120
    • 参考文献/p121
    • 第6章 総括/p123
    • 謝辞/p127
    • 本研究に関する研究発表及び論文/p129

書誌情報

簡易表示

詳細表示

https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3137359/1

この資料は、著作権の保護期間中であるか、著作権の確認が済んでいない資料のためインターネット公開をしていません。閲覧を希望される場合は、国立国会図書館または図書館送信参加館へご来館ください。
デジタル化資料のインターネット提供について

図書館送信参加館にご来館になる場合は、来館予定の図書館へ利用方法の確認をお願いいたします。
「書誌ID(国立国会図書館オンラインへのリンク) 」が表示されている資料は、遠隔複写サービスもご利用いただけます。

図書館向けデジタル化資料送信サービス(図書館送信)について
図書館送信参加館一覧
遠隔複写サービス の申し込み方

機能マウス操作キーボード操作
コマ送りの向きを反転するコマ送り方向反転ボタン(右向き) コマ送り方向反転ボタン(左向き)
次のコマに進む上の表示がコマ送り方向反転ボタン(右向き)のとき:ビューア部右端をクリック
上の表示がコマ送り方向反転ボタン(左向き)のとき:ビューア部左端をクリック
上の表示がコマ送り方向反転ボタン(右向き)のとき:→
上の表示がコマ送り方向反転ボタン(左向き)のとき:←
前のコマに戻る上の表示がコマ送り方向反転ボタン(右向き)のとき:ビューア部左端をクリック
上の表示がコマ送り方向反転ボタン(左向き)のとき:ビューア部右端をクリック
上の表示がコマ送り方向反転ボタン(右向き)のとき:←
上の表示がコマ送り方向反転ボタン(左向き)のとき:→
先頭コマに移動その他ボタンを押してメニューを表示してから先頭ボタンHome
最終コマに移動その他ボタンを押してメニューを表示してから最終ボタンEnd
コマ数指定移動[コマ番号]からコマ数を選択
画像を拡大ホイールを上に回す
拡大ボタン
画像を縮小ホイールを下に回す
縮小ボタン
画像の表示範囲を動かす画像をクリック&ドラッグ
フルスクリーン(ビューア部の拡大)表示フルスクリーンボタンF
フルスクリーン(ビューア部の拡大)解除[フルスクリーン解除]F
画像全体を画面内に収める縦横合わせボタンG
画像の横幅を画面内に収める画面の横幅に合わせて表示するボタンH
90°回転(反時計周り)90°回転(反時計周り)ボタンJ
90°回転(時計回り)90°回転(時計回り)ボタンK
サムネイル一覧を表示するサムネイル一覧ボタンT
複数の画像を合成した全体画像を表示する全体画像ボタン
※この機能は古典籍資料の一部資料でのみ使用できます。
表示画像の画質を調整する画質調整ボタン
※このボタンで調整できるのは閲覧画面に表示している画像です。印刷時の画質は印刷調整画面で調整してください。
書誌、目次、解題・翻刻を表示する詳細情報を表示するボタン
書誌、目次、解題・翻刻を閉じる×ボタン
印刷する印刷するボタン*P
JPEG形式で表示JPEG表示ボタンをクリックし倍率を設定
画像を全コマダウンロードする全コマダウンロードボタン
※公開範囲が「インターネット公開(保護期間満了)の資料でのみ利用可能です。
特定コマのURLを表示するその他ボタンをクリックして[URL]ボタンをクリック*U
音声/映像を再生する再生ボタンP
音声/映像を一時停止する一時停止ボタンP
音声/映像を停止する停止ボタンS
音声/映像の表示領域比率を4:3に設定する4:3ボタンW
音声/映像の表示領域比率を16:9に設定する16:9ボタンW
音声/映像を任意の位置から再生するシークバー
※HLS(HTTP Live Streaming)による配信・再生に対応するブラウザ・プレイヤーをお使いの場合はシークバーのドラッグが可能です。
SHIFT+→:+10秒
SHIFT+←:-10秒
音声を消す(ミュート)ミュートボタンM
音声を消す(ミュート)を解除ミュートボタン(ミュート状態)M
音量を調整する音量スライダー↑↓
再生速度を変更する再生速度変更ボタンU(速くする)
D(遅くする)

*アクセスキーの場合は、表中に「*」をつけています。
  Windows IEでは「ALT」+アクセスキー、Windows FireFoxでは「ALT」+「SHIFT」+アクセスキーのように押して利用します。