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100MHz帯発振器用水晶ウエハの超精密加工に関する研究

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目次・巻号

  • 100MHz帯発振器用水晶ウエハの超精密加工に関する研究 [102]
    • 目次/p1
    • 第1章 序論/p1
    • 1.1 水晶の物性と水晶振動子の歴史/p2
    • 1.2 水晶応用デバイスの種類と技術動向/p14
    • 1.3 水晶応用デバイスの市場動向/p33
    • 1.4 研究の目的と課題/p35
    • 第1章の参考文献/p44
    • 第2章 新しい生産工法の設計/p46
    • 2.1 新しい生産工法/p46
    • 2.2 ポリシング条件の設計/p48
    • 2.3 水晶チップの加工品質設計/p62
    • 2.4 水晶チップの機械的強度/p69
    • 2.5 複合板の加工変形/p78
    • 第2章の参考文献/p86
    • 第3章 ポリシング前加工/p87
    • 3.1 緒言/p87
    • 3.2 水晶ウエハの貼付/p88
    • 3.3 水晶ウエハの剥離/p96
    • 3.4 平面研削/p96
    • 3.5 結言/p108
    • 第3章の参考文献/p111
    • 第4章 研磨剤のポリシングによる評価/p112
    • 4.1 緒言/p112
    • 4.2 装置と実験方法/p113
    • 4.3 実験結果/p116
    • 4.4 考察/p128
    • 4.5 結言/p129
    • 第4章の参考文献/p131
    • 第5章 ポリシングパッドの粘弾性とポリシング機構の解析/p132
    • 5.1 緒言/p132
    • 5.2 ポリシングパッドの特性/p132
    • 5.3 実験方法/p140
    • 5.4 実験結果および考察/p142
    • 5.5 結言/p150
    • 第5章の参考文献/p153
    • 第6章 水晶振動子、VCXO、MCFへの応用/p154
    • (1)水晶振動子/p154
    • (2)VCXO/p154
    • (3)MCF/p158
    • 第7章 総括/p167
    • 謝辞/p169
    • 付録/p170
    • 研究論文リスト/p192

書誌情報

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https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3151445/1

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