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公開範囲

  • 国立国会図書館/図書館送信限定(116637)

デジタル化資料

  • 博士論文(116637)

出版年

巻号を省略

  • 100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究 [62]
    • 目次
    • 第1章 序論/p1
    • 第2章 大面積偏向大電流電子光学系の設計/p7
    • 2-1 緒言/p7
    • 2-2 電子光学系の仕様と設計フローの抽出/p8
    • 2-3 電子光学系の設計/p13
    • 2-4 試作電子光学系の電子ビーム特性の測定と解析/p26
    • 2-5 結言/p49
    • Appendix 偏向にともなう非点収差の発生メカニズム/p51
    • 第3章 紫外線・電子線両用レジストの提案と電子線露光現象の解析/p52
    • 3-1 緒言/p52
    • 3-2 紫外線・電子線両用レジストの提案と露光特性の解析/p53
    • 3-3 レジストパターンプロファイルのモンテカルロシミュレーションによる評価/p61
    • 3-4 結言/p66
    • 第4章 平面回路の線幅制御法と立体回路のスルーホール内壁露光法の提案/p68
    • 4-1 緒言/p68
    • 4-2 副偏向重畳主偏向走査によるパターン幅制御法の提案と効果の検証/p70
    • 4-3 スルーホール内壁露光法の提案と効果の検証/p76
    • 4-4 結言/p86
    • 第5章 大面積電子線露光装置の試作と適用性の検討/p88
    • 5-1 緒言/p88
    • 5-2 大面積電子線露光装置の試作/p88
    • 5-3 高密度プリント配線板への適用性の評価/p99
    • 5-4 結言/p101
    • 第6章 本論文の総括/p103
    • 参考文献/p107
    • List of Publications/p111
    • 謝辞/p113

検索結果(116637件中 121-140件表示)

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121

100%酸素6時間曝露による生体の影響について 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

尾島博 [著][他] (1995)

122

100MHz帯発振器用水晶ウエハの超精密加工に関する研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

千葉亜紀雄 [著][他] (1998)  

123

100kW級工場用太陽光発電システムの最適化設計とその実証に関する研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

室園幹夫 [著][他] (1993)  

124

100kW級自動車用CGT開発におけるセラミックラジアルタービンの強度設計と実験評価法に関する研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

中澤則雄 [著][他] (1998)  

125

100keV/u領域における16Oイオンビームとレーザー生成プラズマの相互作用 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

作美明 [著][他] ([作美明], 1999)  

126

100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

星之内進 [著][他] (1992)  

127

10mm以上の大腸表面型腫瘍の臨床的,病理学的検討 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

安藤正夫 [著][他] (1994)

128

10nm級InAs量子箱を介する電子のトンネル伝導の研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

成廣充 [著][他] (1998)  

129

10wt%金を含む鋳造用Ag-Pd-Cu-Au合金の諸性質 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

飯渕良幸 [著][他] ([飯渕良幸], 1992)  

130

10代の小児糖尿病患者の対処行動と療養行動,血糖コントロールに関する縦断的研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

中村伸枝 [著][他] (1996)  

131

10年以上経過観察できた後房レンズ挿入眼の検討 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

泉幸子 [著][他] ([泉幸子], 1998)

132

11・12世紀アングロ=ノルマン王国における貴族社会の研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

中村敦子 [著][他] (1999)  

133

11-13世紀北シリア都市社会の変容 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

谷口淳一 [著][他] (1998)  

134

[111]In,[125]I標識モノクローナル抗体17-1Aのヒト膵臓癌HuP-T4担癌マウスにおける体内動態に関する研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

前田正敏 [著][他] (1992)

135

[111]In標識活性炭の開発とダブルトレーサー法による乳腺リンパ流の解析 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

川西孝和 [著][他] (1994)  

136

[111]In標識多核白血球を用いたARDS発生機構に関する実験的研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

壷内泰二郎 [著][他] (1991)

137

[111]In標識低比重リポ蛋白(LDL)を用いたLDL体内分布および動脈硬化巣イメージングの検討 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

山科久代 [著][他] (1993)

138

[111]In標識モノクローナル抗体の骨肉腫実験モデルOs515肺転移巣への集積性に関する実験的研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

藤川浩 [著][他] (1992)

139

[117]In(←[117]Cd)時間微分型γ線摂動角相関による遷移金属酸化物の超微細相互作用の研究 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

柳田保雄 [著][他] (1996)  

140

[11]Beの反応断面積と核子密度分布 国立国会図書館/図書館送信限定 博士論文

福田光順 [著] (1994)